【先进材料测试与制造平台】聚焦离子束三束扫描电子显微镜（Cross Beam550-Laser）试运行公告及技术培训的通知

各位老师，同学：

大家好！

先进材料测试与制造平台将于2025年11月03日起举办聚焦离子束三束扫描电子显微镜（Cross Beam550-Laser）的技术培训并同步进入试运行阶段（开始接受送样）。平台现有的Cross Beam550-Laser是目前业内最为先进的微纳加工设备及材料微结构解析设备，其同时拥有电子束、离子束（Ga离子）以及飞秒激光的表征与加工能力，主要用于微纳米截面切割，高分辨成像表征，TEM样品制备等，加工范围可从纳米至厘米级别，适用于金属、陶瓷、高分子等各种类型材料的微纳加工，显微分析及TEM样品制备。

同时，该系统集成了能谱（EDS）及背散射电子衍射（EBSD），可用于辅助解析研究材料的微区成分组成及相结构，进一步精准定位微纳加工的切割位置。

请有培训需求的课题组填写《大型仪器设备培训申请表》和《大型仪器设备自主操作责任书》（附件1和附件2）发送至邮箱shushuailiu@sdu.edu.cn，主题为：姓名+指导教师+学院，请认真描述即将使用该系统完成的实验内容，报名截止日期11月01日。

为了保证培训质量，原则上本次培训不超过15人（一般报名者均可参加培训），平台会根据培训申请表中实验内容描述及仪器使用频率筛选参训人员，请注意查收邮箱。参训人员请携带校园卡，以便我们核对信息。（随后会有多期培训，敬请通知）

试样要求及收费标准暂定如下：

SEM+EDS+EBSD：试样长宽高≤10mm；收费400元/小时；

FIB（Ga离子加工）：试样长宽≤8mm，高度≤7mm；600元/小时；

飞秒激光加工：试样长宽≤10mm，高度≤6mm ；800元/小时；

TEM样品制备：试样长宽≤7mm，高度≤6mm（待加工面机械抛光至镜面最佳）；2000元/个；

基于目前多台套SEM设备，试运行期间仅开放微纳加工能力，包括FIB加工，飞秒加工以及TEM样品制备。

因耗材较为昂贵，试运行期间，设备使用收费5折，含TEM样品制备（包成功，有效区域宽度3~5μm，厚度100nm左右）。

为了科学高效帮助大家解决问题，请大家根据课题需求以及样品自身特点，按需填写送样单，并将送样单上传至QQ预约群群文件。

送样单见附件3

特别提醒：由于设备操作的较为复杂，且安全系数较低，本次培训主要以过程演示为主，帮助大家理解设备的能力，以便于更好地用于自身课题研究。

培训负责老师：刘树帅/谌梓煦/张芦元          

联系方式：15865265020/18754116720/15806621028

培训安排如下：

注意事项：

1. 各课题组宜推荐长期使用的人员参加培训以保证技术的稳定推广。

2. 培训结束后，负责老师会对参训师生进行考核，考核合格者可获得培训内容的使用授权，负责老师可以在后续设备使用过程中随时进行技能考核，考核不合格的可以取消授权。

3. 请计划参加培训的同学及时进群，有问题随时交流。

试运行初期拟采取QQ群预约送样，请有需求的老师和同学加群预约，微信/电话同步支持预约，谢谢！