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电镜制样系统运行公告
发布日期:2022-09-19 作者: 浏览次数:


山东大学先进材料测试与制造平台的电镜制样系统自2021年8月安装调试后,各项性能良好。即日起开始正式运行,欢迎广大师生前来咨询和送样测试。

仪器简介

制样系统包括三大模块前处理模块、主模块、后处理模块。主要模块包括:2台离子减薄仪(高配与低配)和1台离子平面抛光仪;前处理模块包含凹坑仪、超声切割仪、高/低速切割机、电解双喷、振动抛光等;后处理模块包括等离子清洗机等;基本囊括了金属和陶瓷等样品上机前(透射电镜、扫描电镜)样品制备工艺路径的各个节点。

主模块主要技术指标:

1)离子束能量范围:50eV~10keV;

2)离子束斑尺寸:≤1μm;

3)离子枪倾转角度:-10°~10°,连续可调;

4)最大离子束流密度:10 mA/cm2

5)液氮冷台温控范围:-170℃~室温,连续可调;

6)液氮冷台保冷时间:6~18小时;

7)样品台转角范围:0~360°。

二、 生产厂商

FISCHIONE(美国)公司

三、 仪器图片

                               

四、样品要求

离子减薄送样基本原则

1.样品表面越平整减薄效果越佳,建议使用粒度1000以上砂纸磨抛;

2.离子减薄前样品厚度原则上应低于100微米,特殊情况可微信、QQ咨询;

3.离子减薄载样台仅容纳直径3±0.1mm的透射圆片试样。

离子平面抛光送样基本原则

1.由于有机质挥发严重污染激光定位器,故包埋样品务必提前咨询;

2.平面样品最大尺寸(直径32mm-高25mm)

3.截面样品最大尺寸(长10mm-宽10mm-厚4mm),特殊情况请提前咨询。

五、 收费标准

序号

测试项目

收费标准

备注

1

铁/磁材料离子减薄

1600元/样品

1、自行操作,

费用减半;

2、视情况加收前、后处理费用(7、8、9项);

3、使用液氮冷阱低温减薄费用加倍

2

陶瓷材料离子减薄

1600元/样品

3

一般材料离子减薄

1200元/样品

4

特殊材料离子减薄

600元/小时

5

离子平抛

600元/小时

6

离子平抛

(铁/磁材料)

1000元/小时

7

透射样品凹坑

600元/样品

凹坑至中心部位厚度为20~30μm

8

等离子清洗

100元/10min

10min以内按10min计算

9

切割取样

100元/

行程15cm以内

* 离子减薄载样台为贵重耗材(2000美金/个),实验损耗成本已包含在测试费用中,铁磁材料极易污染设备增加设备维护成本,陶瓷材料由于凹坑效果有限故增加离子轰击时间成本,液氮冷阱使用后减薄时间将增至常温的2至3倍,据此制定收费标准。电解双喷针对不同材料所涉及电解液成分存在差异,设备正式运行一段时间后再行制定运行标准与费用标准。

六、 仪器地点及预约方法

创新大厦一楼102-2

联系人:王瑫 18396892205(微信同号) wxm689wxm@sdu.edu.cn

使用QQ群或者电话进行咨询与预约,送样后请在系统提交送样申请,并注明:(1)样品种类;(2)测试项目;(3)预约人联系方式。

                           

* 由于各种透射样品耐离子辐照、机械强度、腐蚀性能等存在较大差异,送样前务必联系实验老师确定最终研磨厚度和样品尺寸。