近日，关于透明导电氧化物薄膜的低温溶液制备与性能研究项目在山东大学千佛山材料科学与工程学院实验室正式启动。ITO制备实践调研队成功实现18小时紫外光225摄氏度照射下第一层膜的制备。

氧化铟锡（ITO）是一种混合物，呈透明茶色薄膜或黄偏灰色块状，由90%In₂0₃和10%SnO₂混合而成，主要用于制作液晶显示器、平板显示器、等离子显示器、触摸屏、电子纸、有机发光二极管、太阳能电池、抗静电镀膜、EMI屏蔽的透明传导镀、各种光学镀膜等。透明导电薄膜既有高导电性，又在可见光范围内有高透明性，且在红外光范围内有高反射性，在光电产业中有广阔的应用前景。基于以上原因，ITO制备实践调研队展开对透明导电氧化物薄膜的低温溶液制备与性能研究实验。

第一层ITO膜制备过程如下：

1、烧杯内有三个玻璃片，以250度加热烧杯，至有气泡冒出；

2、酒精清洗；

3、放到UV15分钟，减小表面张力，增加润湿性；

4、旋涂法：台式匀胶机，吹气（橘色），抽真空方便吸附，尽量把玻璃片放在中间，20微升前驱液，先低速3秒，300转；后高速30秒，2000转；结束后手动变到0；

5、烘干箱70，80，100度，4，5分钟，要先预热；

6、加热制膜；

基于实验安全的考虑，实验进行时实验室必须有人，离开实验室要及时关闭设备。ITO制备实践调研队的何玥、王冉、王璐然和梁爽四位同学分别来实验室，经过加热玻璃片——酒精清洗——UV增加润湿性——旋涂法涂覆溶液——烘干箱烘干——紫外光波照射同时加热板225摄氏度加热的步骤，共同完成了18小时紫外光225摄氏度照射下第二层膜的制备。

经过ITO制备实践调研队的努力奋斗，成功制备第一层ITO薄膜，为制备第二层ITO膜奠定了基础，使透明导电氧化物薄膜的低温溶液制备与性能研究项目迈出重要一步。